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본 발명은 저온 플라즈마를 이용한 나노입자 제조방법, 나노입자 및 이를 포함한 전극을 구비한 리튬 전지에 관한 것이다. 상기 나노입자 제조방법에 따르면, 균일한 크기의 나노입자를 제조할 수 있으며, 코어-쉘 구조의 나노입자 제조도 가능하다. 상기 나노입자는 리튬 전지 등과 같은 다양한 소자에 적용될 수 있다. 나노입자 제조방법, 리튬 전지