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Die Anmeldung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Nanopartikeln, die Nanopartikel selbst und deren Verwendung. Nach zumindest einer Ausfuhrungsform umfasst das Verfahren die Thermolyse von mindestens einem Prakursor unter Ausbildung der Nanopartikeln. Der Prakursor ist dabei aus einer Gruppe ausgewahlt, die Polysilane, Polygermane, Polysilagermane, Polycarbosilane, Polycarbosilagermane und Kombinationen hiervon umfasst, und weist Wasserstoff- und/oder Halogen Substituenten auf. Die Nanopartikel umfassen ein wasserstoff- und/oder halogenidhaltiges Halbleitermaterial, das aus einer Gruppe ausgewahlt ist, die Silicium, Germanium, Siliciumgermanium, kohlenstoffdotiertes Silicium und kohlenstoffdotiertes Siliciumgermanium umfasst.