Probe card, space transformer and method of manufacturing space transforber

Abstract

본 발명의 프로브 카드용 스페이스 트랜스포머는, 복수의 세라믹 시트를 적층한 후 소결하여 제작되는 프로브 카드용 스페이스 트랜스포머에 있어서, 서로 인접하게 배치되어 상기 세라믹 시트를 관통하는 복수의 비아(via);와 상기 세라믹 시트의 일면에 배치되어 상기 인접하는 복수의 비아를 전기적으로 연결하는 연결 패드;를 포함하여 이루어지는 보강 비아 세트를 복수개 포함하는 점에 특징이 있으며, 본 발명의 스페이스 트랜스포머 제조 방법은, 복수의 세라믹 시트를 적층한 후 소결하여 프로브 카드용 스페이스 트랜스포머를 제작하는 방법에 있어서, 상기 세라믹 시트에 서로 인접하는 복수의 비아홀(via hole)들을 천공하는 단계; 상기 세라믹 시트의 천공된 비아홀들에 금속재료를 채우는 단계; 및 상기 세라믹 시트에 인접하는 비아홀들을 서로 연결하는 연결 패드를 인쇄하는 단계;를 포함하는 점에 특징이 있다.